欠陥制御によるシリカガラスの深紫外光学特性の向上
シリカガラス（アモルファスSiO2）は、ありふれた元素（SiとO）からなるガラスでありながら、実用ガラス中で最も広い赤外域から深紫外域(波長300nm以下)にわたる透明領域、優れた照射耐性と化学的耐久性、高い機械的強度を有するため、「ガラスの王様」とよばれています。しかしながら、その光学特性は、ppmオーダーのごく微量の欠陥の存在によって大きく左右されます。高強度深紫外レーザー用シリカガラスの開発に必要なシリカガラスの欠陥制御技術について紹介します。
